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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，pcr实验室价格，例如光刻区或者在远紫外线处理(duv)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

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