洁净车间公司-科洁净化-滨江洁净车间

无尘车间洁净室（区）与周围的空间必须维持在一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。1、不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于5pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5pa，洁净区与室外的压差不应小于10pa。2、无尘车间洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，洁净车间安装，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定3、送风、回风和排风系统的启闭宜联锁，正压差洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机，洁净车间价格，关闭时联锁程序应相反，负压差洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反4、非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。

无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(duv)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。